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科泰新材料可提供“元索周期表”近乎全元素(除放射性元素外)的任意組合材料定制,
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靶材清單

發布時間:2008-07-01      文章分類:材料清單      瀏覽量:4228      文章來源:本站

磁控濺射靶材

科泰擁有四合一生產線,擁有熔煉靶材和粉末冶金靶材兩條大生產線。熔煉靶材生產線我們有電弧熔煉爐,中頻熔煉爐(5kg、15kg、30kg、50kg),真空懸浮熔煉爐(1kg、3kg、5kg、15kg),同時有鍛床,軋機等熱加工設備設備。 粉末冶金靶材生產線我們有真空熱壓爐(1-18寸各種模具),冷等靜壓成形設備,真空燒結設備,非真空燒結設備,氣氛燒結設備。科泰檢測設備完備,能夠確保靶材品質穩定、優異。多年生產經驗的工程技術人員、高端的生產實驗設備,科泰會根據靶材材料性能選擇合適的生產工藝,為客戶提供優質的磁控濺射靶材。


01
金屬/單質靶材

脆性元素:硼B、鉍Bi、鉻Cr、錸Re、釕Ru、銻Sb、硒Se、碲Te、

金屬元素:鋁Al、鎘Cd、銅Cu、鐵Fe、鉿Hf、銦In、鎂Mg、鉛Pb、錫Sn、釩V、鋅Zn 

稀土元素:  鑭La、鈰Ce、鐠P、釹Nd、釤Sm、釓Gd、鋱Tb、鏑Dy、鈥Ho、鉺Er、銩Tm、鐿Yb、镥Lu、釔Y、鈧Sc

02
稀土合金靶材

鋁鈧AlSc、鈰釓CeGd、鈰鎂CeMg、鈰釤CeSm、鏑鈷DyCo、鏑鐵DyFe、釓銅GdCu、釓鐵GdFe、鈥銅HoCu、鑭鋁LaAl、鑭鎳LaNi、鋁釹AlNd、釹鐵NdFe、釹鐵硼NdFeB、鎳鎂鈰NiMgCe、鎳鎂鐵鈰NiMgFeCe、鋱鏑鐵TbDyFe、鋱鐵TbFe、釔鋁YAl、釔銅YCu、釔鐵YFe、釔鎂YMg、釔鎳YNi、釔鋯ZrY 

03
其它合金靶材

鈦合金類:  鈦鋁Ti-Al、鈦鉻Ti-Cr、鈦鎳Ti-Ni 

鎳合金類鎳鋁Ni-Al、鎳鉻Ni-Cr、鎳鉻硅Ni-Cr-Si、鎳鐵Ni-Fe;鎳鈮鈦Ni-Nb-Ti、鎳鈦Ni-Ti、鎳釩Ni-V

鋁合金類:鋁銀Al-Ag、鋁銅Al-Cu、鋁釹Al-Nd、鋁硅Al-Si、碲化鋁硅銅Al-Si-Cu

銅合金類:  銅鈷Cu-Co、銅釓Cu-Gd、銅銦Cu-In、銅鎳Cu-Ni、銅鋯Cu-Zr

鋯合金類:  鋯鋁Zr-Al、鋯鐵Zr-Fe、鋯鈮Zr-Nb、鋯鎳Zr-Ni、鋯鈦Zr-Ti、鋯釔Zr-Y 

04
氧化物靶材

氧化鋁Al2O3氧化鉍Bi2O3氧化鎘CdO氧化鉻Cr2O3氧化銅CuO三氧化二鐵Fe2O3四氧化三鐵Fe3O4氧化鎵Ga2O3二氧化鍺GeO2氧化鉿HfO2氧化銦In2O3氧化鋰Li2O氧化鎂MgO二氧化錳MnO2四氧化三錳Mn3O4、碲化氧化鉬MoO3氧化鈮Nb2O5;碲化NbOx氧化鎳NiO氧化鉛PbO氧化銻Sb2O3一氧化硅SiO二氧化硅SiO2二氧化錫SnO2一氧化錫SnO氧化鉭Ta2O5、碲化Ta2Ox二氧化鈦TiO2TiOx一氧化鈦TiO氧化鋯ZrO2氧化釩V2O5氧化鎢WO3氧化鋅ZnO氧化鋯ZrO2

稀土氧化物:氧化鑭La2O3氧化鈰CeO2氧化鐠Pr6O11氧化釹Nd2O3氧化釤Sm2O3氧化釓Gd2O3氧化鋱Tb4O11氧化鏑Dy2O3氧化鈥Ho2O3氧化鉺Er2O3氧化銩Tm2O3氧化鐿Yb2O3氧化镥Lu2O3氧化釔Y2O3氧化鈧Sc2O3

05
氮化物靶材

氮化鋁AlN氮化鋁鈧AlScN, AlxSc(1-x)N氮化鈧ScN 碲化氮化釓GdN、氮化硼BN氮化鉻CrN氮化鉿HfN氮化鈮NbN氮化硅Si3N4氮化鉭TaN氮碳化鈦TiCN氮化鈦TiN氮化釩VN氮化鋯ZrN氮化鋁鈦AlTiN

06
碳化物靶材

碳化鋁Al4C3、碳化硼B4C、碳化鉻Cr3C2、碳化鉿HfC、碳化鑭LaC2、碳化鉬Mo2C、碳化鈮NbC、碳化鎳Ni3C;碳化硅SiC、碳化鉭TaC、碳化鈦TiC、碳化釩VC、碳化鎢WC、碳化鋯ZrC 

07
氟化物靶材

氟化鋇BaF2氟化鈣CaF2氟化鋰LiF氟化鎂MgF2氟化鈉NaF

稀土氟化物:氟化鑭LaF3氟化鈰CeF3氟化釤SmF3氟化釓GdF3氟化鋱TbF3氟化鏑DyF3氟化鈥HoF3氟化鉺ErF3氟化鐿YbF3氟化釔YF3氟化鈧ScF3

08
硅化物靶材

二硅化鈷CoSi2、二硅化鉻CrSi2、二硅化鉿HfSi2、二硅化鉬MoSi2、二硅化鈮NbSi2、二硅化鎳NiSi2、二硅化鉭TaSi2、二硅化鈦TiSi2、二硅化釩VSi2、二硅化鎢WSi2、二硅化鋯ZrSi2

09
硼化物靶材

硼化鋁AlB;硼化鈷CoB、二硼化鉻CrB2、硼化鐵FeB、二硼化鉿HfB2、六硼化鑭LaB6、硼化鉬Mo2B、硼化鈮NbB2、二硼化鉭TaB2、二硼化鈦TiB2、二硼化釩VB2、二硼化鎢WB2、二硼化鋯ZrB2

10
硫化物靶材

硫化銀Ag2S、硫化砷As2S3、硫化鉍Bi2S3、硫化鎘CdS、硫化鈷錫CoSnS、硫化鉻Cr2S3、硫化銅鋁CuAlS2、硫化銅鎵CuGaS2、硫化銅銦鎵CuInGaS、銅銦鎵硒硫CuInGaSeS、硫化銅銦CuInS2、硫化銅CuS、硫化亞銅Cu2S、硫化銅錫CuSnS、硫化銅銻CuSbS、硫化銅銻鋅CuSbZnS、硫化銅鋅錫CuZnSnS、硫化鐵FeS2、硫化鎵GaS、三硫化二鎵Ga2S3、硫化鍺GeS、二硫化鍺GeS2、三硫化二銦In2S3、二硫化鉬MoS2、硫化鈮NbS、硫化鎳NiS2;硫化鉛PbS、硫化銻Sb2S3、硫化銻硒SbSeS、硫化錫SnS、SnS2、硫化鈦TiS2、硫化鉭TaS2、硫化鎢WS2、硫化鋅鎘ZnCdS、 

11
硒化物靶材

三硒化二砷As2Se3、  硒碲化砷AsSeTe、 硒化鉍Bi2Se3、 硒碲化鉍BiSeTe、 硒化鎘CdSe、 硒碲化鎘CdTeSe、 硒化銅鎵CuGaSe2、 硒化銅CuSe、 二硒化銅CuSe2、  銅銦鎵硒CuIn0.7Ga0.3Se2、  硒化銅銦CuInSe2、 硒化銅鋅錫CuZnSnSe、 硒化鉺Er2Se3、 硒化鐵FeSe、 硒砷化鎵GaAsSe、 三硒化二鎵Ga2Se3、 硒化鉭鎵GaTa4Se8、 一 硒化鍺GeSe、 二硒化鍺GeSe2、 三硒化二鍺Ge2Se3、 鍺砷硒碲GeAsSeTe、 鍺碲硒GeTeSe、 鍺砷硒GeAsSe、 一硒化銦InSe、 三硒化二銦In2Se3、 二硒化鉬MoSe2、 二硒化鈮NbSe2、 硒化鉛PbSe、 三硒化二銻Sb2Se3、 二硒化鉭TaSe2、 二硒化鎢WSe2、 硒化鋅ZnSe、

12 碲化物靶材

碲化鋁Al2Te3、碲化銀Ag2Te、銀銦銻碲AgInSbTe、碲化砷As2Te3、砷硒碲AsSeTe、碲化鉍Bi2Te3、鉍銻碲BiSbTe、鉍硒碲BiSeTe、碲化鎘CdTe、鎘鋅碲CdZnTe、碲化銅CuTe、碲化亞銅Cu2Te、碲化鎵GaTe、三碲化二鎵Ga2Te3、碲化鍺GeTe、鍺砷硒碲GeAsSeTe、鍺銅碲GeCuTe、鍺碲Ge2Sb2Te5、碲化銦In2Te3、銦銻碲InSbTe、碲化鎂MgTe、碲化鉬MoTe、MoTe2、碲化鈉Na2Te;碲化鈮NbTe2、碲化鉛PbTe、碲化銻Sb2Te3、碲化釤SmTe、碲化錫SnTe、碲化鈧Sc2Te3、ScTe;鈧銻碲ScSbTe、碲化鉭TaTe2、碲化鈦TiTe2、鈦銻碲TiSbTe、碲化銩TmTe、碲化鎢WTe、WTe2、碲化鐿YbTe、碲化鋅ZnTe

13
砷化物靶材

砷化鉻Cr2As砷化錫SnAs砷化鎘Cd3As2砷化鈷CoAs2砷化鐵FeAs砷化鎵GaAs砷化銦InAs砷化鍺GeAs

14
銻化物靶材

銻化鋁AlSb銻化鉍Bi2Sb3銻化鎘Cd3Sb2CdSb銻化鈰CeSb銻化鈷CoSb3銻化鐵FeSb銻化鍺GeSb銻化錳MnSb銻化釹NdSb銻化鎵GaSb銻化銦InSbIn2Sb3銻化鉛PbSb、銻化錫SnSb銻化鋅ZnSb 

15
磷化物靶材

磷化鋁AlP、磷化硼BP、磷化銅CuP、磷化鎵GaP、磷化鍺GeP、磷化銦InP、磷化鉬MoP、磷化鈮NbP、磷化NiP、磷化硅SiP、磷化鉭TaP、磷化鎢WP 

16
其它化合物靶材

AgInS2、AgInTe2、BixSb1-xTe、CdInTe4、CuZnSnS、CIGS(CuInxGa1-xSe2)、CIGSS(CuInxGa1-x(Se.S)2)、CuInSe2、GaxAl1-xAs、GeSeAs(Si,Te)、GeSbTe、PbxSn1-As、ZnIn2Te4、ZnxCd1-xTe 

17
其它混合物靶材

ATO、AZO、GZO、IGZO、ITO、IZO、YSZ、PZT、 PbZrO3、SrZrO3、LaAl2O3、LaNbO3、LiNbO3、LSMO、CrSiO; ZrO2+SiO2、Al2O3+ZrO2、Al2O3+MgO、CaF2+CeF3、CuO+In2O3、Ta2O5+TiO2、Ta2O5+ZrO2、 TiO2+Nb2O5 、TiO2+ZrO2、YAG、YBaCuO、 YGdCuBaO、BaTiO3、CaTiO3、FeTiO3、LaTiO3、Li2TiO3、SrTiO3、PbTiO3、 Li3PO4、Ca10(PO4)6(OH)2、LiCoPO4、LiCuPO4、LiFePO4、LiMnPO4、LiTi2(PO4)3


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